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华科大团队在《自然》发文:让红外感光材料直接在芯片上“长”出来

长江云新闻  2026-10-29 13:51:41
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把做好电路的芯片浸入常温水溶液,红外感光材料便在芯片表面直接“长”了出来。10月28日,华中科技大学光学与电子信息学院、武汉光电国家研究中心唐江教授团队在《自然》(Nature)在线发表论文《单片原位集成硫化铅红外成像器件》(Monolithically and In-situ Integrated PbS Infrared Imagers),用室温水溶液工艺让硫化铅感光层直接生长在读出电路上,制成640×512像素的短波红外成像芯片。

Nature论文发表页面

红外成像芯片由感光阵列和读出电路两部分组成。主流的高性能短波红外芯片需要先把两部分分别做好,再逐个像素精密对准、键合。像素越小,这一步越像在显微镜下“穿针引线”,工艺复杂,成本也高。

受贝壳在常温海水中长出有序晶层的启发,团队改造了一项已有百余年历史的化学水浴沉积技术,让硫化铅在电路表面直接结晶成膜,省去了读出电路和感光层先分别制备、再对准连接的环节。难点在于,芯片上有数十甚至数百万个像素,溶液稍有扰动,材料就可能长得参差不齐。研究人员精细调控溶液化学反应,并把温度波动控制在±0.005℃以内、同时抑制环境振动,得到了质量准单晶、掺杂浓度接近本征、整片均匀的硫化铅薄膜。

单片原位集成技术示意图

测试显示,团队研制的光电二极管在室温下对2.5微米红外光的比探测率(衡量捕捉微弱光信号能力的指标)达到同类器件最高水平,高于同波长的商用铟镓砷探测器;成像芯片各像素响应的均匀性与商用铟镓砷芯片相当,在不制冷、不补光的条件下,清晰拍下了热水、电烙铁等80℃至600℃高温物体的红外图像。该工艺还可用于柔性电路,制成可弯曲的成像阵列。

器件结构、制备流程和单点性能对比

这项研究把材料合成与器件集成合二为一,其开创的常温水相芯片工艺,为红外成像芯片以及半导体制造提供了一条绿色低成本、可规模化的变革性新路线。相关工艺还需放大验证批量制造的良率和稳定性,未来有望服务于半导体检测、机器视觉和消费电子等领域。

该论文第一完成单位为华中科技大学,唐江教授为本文唯一通讯作者,第一作者李森(博士后)、刘婧(讲师)、高亮(教授)均为华中科技大学在职研究人员。

武汉光电国家研究中心、光电学院和光谷实验室的联合研发团队

(长江云新闻记者 汪佳睿 谭思为 通讯员 黄双子)





责任编辑 程艺畅
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